簡要描述：ILS 中行程鋁步進電機線性平移臺是一款堅固的快速、亞微米分辨率線性載物臺，采用輕質(zhì)、堅固的鋁合金機身和可靠的部件，可防止熱彎曲效應(yīng)。它們提供50-250mm的行程，并能夠在輕工業(yè)應(yīng)用中實現(xiàn)高負載循環(huán)。對于要求不高的應(yīng)用，步進電機是直流何服系統(tǒng)的一種成本較低的替代方案。這些階段的特點是微步和一種提高運動分辨率和平滑度的螺旋安裝式旋轉(zhuǎn)編碼器

ILS 中行程鋁步進電機線性平移臺產(chǎn)品規(guī)格

型號
	ILS50BPP	ILS100BPP	ILS150BPP	ILS200BPP	ILS250BPP
行程范圍	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s
最小位移增量	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm
中心負載能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
軸向負載 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆軸向負載能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.6 µm	±0.8 µm	±1.5 µm	±1.2 µm	±1.7 µm
精度，保證值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.75 µm	±5.0 µm
單向重復(fù)精度，典型值	±0.20 µm	±0.25 µm	±0.25 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
單向重復(fù)精度，保證值	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
雙向重復(fù)精度，典型值	±0.40 µm	±0.45 µm	±0.45 µm	±0.55 µm	±0.60 µm
雙向重復(fù)精度，保證值	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad	±37 µrad	±75 µrad	±42 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺，典型值	±12 µrad	±17 µrad	±20 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏擺，保證值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏擺順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原點重復(fù)精度	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	0.5 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

注釋:

1. 公制 M- 版本可供選擇。

ILS 中行程鋁步進電機線性平移臺特征

經(jīng)濟型微米步進電機

對于要求不高的應(yīng)用，步進電機可能是比直流電機更經(jīng)濟的解決方案。 步進電機使用磁吸和排斥的基本原理進行操作，將數(shù)字脈沖轉(zhuǎn)換為機械軸的旋轉(zhuǎn)。 為了提高運動的分辨率和平滑度，這些階段均具有微米步距功能，這是一種將運動的完整步長以電子方式劃分為大量局部步長的方法。

微步進電機基本工作原理

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

FEM - 優(yōu)化的鋁制機身

有限元法（FEM）用于優(yōu)化ILS系列舞臺鋁制車體的結(jié)構(gòu)設(shè)計，從而在不降低重量的情況下實現(xiàn)很高的剛度并大程度地減少了雙金屬彎曲。 剛體設(shè)計減少了載荷下的撓曲，從而在鋁制載物臺設(shè)計中實現(xiàn)了最高的性能。 還提供了FEM優(yōu)化的IMS平臺，可提供更長的行程范圍，更高的負載能力和更大的移動平臺。

改善工作性能的旋轉(zhuǎn)編碼器

步進電機通常是開環(huán)運行，其位置取決于命令的步數(shù)和微米步徑。 在要求的扭矩和速度范圍內(nèi)使用時，此功能可靠地工作。 但是，步進電機的運動超出其要求范圍將變得不可預(yù)測。 為避免螺絲/電機耦合錯誤，這些級的位置測量值應(yīng)以4000 cts / rev的速度讀取。 旋轉(zhuǎn)編碼器直接位于螺釘上。

循環(huán)滾珠軸承滑塊

借助精確的線性軌跡，循環(huán)滾珠軸承滑軌可提供優(yōu)異的有效載荷和更長的使用壽命。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問題，該問題通常出現(xiàn)在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。

無側(cè)隙滾珠絲杠

ILS 平移臺包含有預(yù)裝的無側(cè)隙滾珠絲杠，可實現(xiàn)具有較短步進時間和穩(wěn)定時間的平滑且快速的運動。螺桿型材的設(shè)計在于減少熱效應(yīng)，從而延長平移臺的使用壽命。

其他ILS位移臺特性

牢固的頂蓋可防止傳動系統(tǒng)的損壞，并且可使其免受灰塵和碎屑的影響。ILS 系列平移臺還配有實現(xiàn)可重復(fù)初始化的位于行程中心的原點、防止超程的限位開關(guān)以及用于平穩(wěn)緊急制動的彈性行程終點阻尼器。

多軸裝配

Newport的標(biāo)準(zhǔn)電動平移臺和部件可以很容易地組合，以創(chuàng)建數(shù)百種可能的多軸系統(tǒng)。根據(jù)產(chǎn)品和應(yīng)用的不同，我們的標(biāo)準(zhǔn)組件提供以下精密對準(zhǔn):

●Orthogonality to 50 µrad

●Axes Coincidence to 20 µm

XY裝配

IMS300線性平移臺（X軸）和ILS150線性平移臺（Y軸）直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸上實現(xiàn)高精度。

X-Θz 裝配

ILS150線性位移臺（X軸）和URS100旋轉(zhuǎn)位移臺（θz角）直接安裝在一個直線運動的軸和一個旋轉(zhuǎn)運動的軸上，以實現(xiàn)高精度和高精度。

XYZ 裝配

IMS線性平移臺（X軸），一個ILS線性平移臺(Y軸）直接安裝到IMS，ILS線性平移臺安裝在一個EQ120直角托架上 (Z-軸)，在三個線性運動軸上提供高精度。

X-Θy 裝配

ILS線性位移臺和 RV旋轉(zhuǎn)位移臺安裝在 EQ120 直角支架，用于在一個直線運動的軸和一個旋轉(zhuǎn)運動的軸上提供高精度和高精度。

XZ-Θz 裝配

ILS250線性位移臺（X軸）， GTS30V垂直位移臺（Z軸）和 URS100旋轉(zhuǎn)臺（Θz角）直接安裝 在兩個線性運動軸和一個旋轉(zhuǎn)運動軸上，具有較高的精度和精度。

XY-Θz 裝配

IMS300線性平移臺（X軸），一個ILS150線性平移臺（Y軸）和一個URS100轉(zhuǎn)臺 (Θz 角)直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸和一個旋轉(zhuǎn)運動軸上實現(xiàn)高精度。

免費提供計量報告

Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

ILS平移臺負載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these stepper motor driven stages are shown below:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.