簡要描述：MLT-Z系列超高精度線性電機(jī)垂直位移臺緊湊、薄型、高精度線性平臺將 XM 系列的超精密性能與緊湊型 VP 線性平臺系列相結(jié)合。MLT-Z垂直位移臺通過磁性彈簧平衡系統(tǒng)保持出色的定位性能。

MLT位移臺非常適合半導(dǎo)體、工業(yè)或研究市場中的典型掃描或點對點應(yīng)用，用于計量、傳感器測試和校準(zhǔn)、對準(zhǔn)以及拾放組裝。

最佳MIM和精度
經(jīng)過FEM優(yōu)化的堅固鋁制機(jī)身可防止熱彎曲效應(yīng)

MLT-Z系列超高精度線性電機(jī)垂直位移臺產(chǎn)品規(guī)格

型號
	MLT25-Z	MLT50-Z
行程范圍	25 mm	50 mm
最小位移增量	5 nm	5 nm
最大速度	500 mm/s	500 mm/s
最大加速度	0.5 g	0.5 g
最大持續(xù)力	3 N	3 N
中心負(fù)載能力	5 N	5 N
精度，保證值	±0.5 µm	±0.7 µm
雙向重復(fù)精度，保證值	±0.15 µm	±0.15 µm
俯仰，保證值	±50 µrad	±75 µrad
偏擺，保證值	±50 µrad	±75 µrad
典型平面度	±1 µm	±2 µm
直線度，保證值	±1 µm	±2 µm
驅(qū)動方式	Ironless Motor	Ironless Motor
反饋	1 Vpp 20 µm pitch	1 Vpp 20 µm pitch
電纜長度	2.9 m	2.9 m
重量	3.0 kg	3.2 kg
Compliance

MLT-Z系列超高精度線性電機(jī)垂直位移臺特征

可靠的設(shè)計

每個MLT平臺的底座均采用高強(qiáng)度鋁合金制成，并通過有限元方法 (FEM) 進(jìn)行了優(yōu)化，以獲得最佳的剛性和熱性能。選擇部件，如長壽命和高負(fù)載交叉滾子軸承、大力直線電機(jī)和高精度直線編碼器，兼顧性能和可靠性。內(nèi)置限位開關(guān)可防止超程和碰撞。為了保證MLT的高可靠性，進(jìn)行了大量的試驗。

Ironless Motor

MLT series stages are equipped with MKS designed ironless motors that include hall effect sensors and thermistor in a very compact size. Compared to iron core motors, the main advantage of ironless motors is better speed stability (no cogging) and shorter settling time, which is critical for fiber alignment applications.

低運(yùn)維成本

MLT 系列緊湊、薄型和快速平臺占用更少的空間，以更高的加速度和速度運(yùn)行，降低了運(yùn)行成本。 此外，由于它們的高可靠性設(shè)計，它們需要的初始投入低且需要的維護(hù)更少。

多種配置

MLT 系列還提供 線性平移臺，行程范圍為25 mm至250mm。可以利用可用的安裝孔內(nèi)置到XY疊堆中。預(yù)組裝的XYZ疊堆可在短行程25毫米和50毫米范圍內(nèi)使用。

平衡板

垂直平移臺配有4個可拆卸的磁性平衡板，以適應(yīng)一系列垂直負(fù)載，同時保持出色的定位性能。使用的平衡板數(shù)量取決于客戶的有效負(fù)載。

即插即用 ESP 兼容

MLT 兼容支持即插即用 ESP 技術(shù)的 XPS 系列標(biāo)準(zhǔn) MKS 控制器，無需復(fù)雜的驅(qū)動程序配置即可輕松啟動。 （注意XY配置需要手動設(shè)置參數(shù)。）

負(fù)載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.