簡要描述：VP-5ZA 精密垂直線性位移臺是一種超薄型精密垂直位移臺，非常適合于半導體晶片檢測、光子測試和封裝、微型組裝、精密計量和表面檢測系統。VP-5ZA 基于 VP-25X 線性位移臺中使用的已經通過行業驗證的技術，提供高可靠性運動，具有納米靈敏度、高響應性和直線軌跡。

垂直運動的精度為 4.8 mm，具有傾斜平面概念
超薄型設計，采用簡化的 XYZ 配置

VP-5ZA 精密垂直線性位移臺產品規格

• 行程范圍
  4.8 mm
• 最小位移增量
  60 nm
• 最大速度
  5 mm/s
• 中心負載能力
  50 N
• 精度，典型值
  ±0.6 µm
• 精度，保證值
  ±1.5 µm
• 雙向重復精度，典型值
  ±0.10 µm
• 雙向重復精度，保證值
  ±0.25 µm
• 單向重復精度，典型值
  ±0.06 µm
• 單向重復精度，保證值
  ±0.15 µm
• 驅動螺距
  1 mm
• 減速輪
  5:1
• 編碼器分辨率
  0.0196 µm
• 限位開關
  Optical
• 原點
  Optical, centered
• 原點重復精度
  ±0.1 µm
• 連接器
  DB25 Male
• 俯仰，典型值
  ±30 µrad
• 俯仰，保證值
  ±50 µrad
• 俯仰順應性
  45 µrad/Nm
• 滾轉，典型值
  ±30 µrad
• 滾轉，保證值
  ±100 µrad
• 滾轉順應性
  50 µrad/Nm
• 偏擺，典型值
  ±30 µrad
• 偏擺，保證值
  ±50 µrad
• 偏擺順應性
  10 µrad/Nm
• 電纜長度
  1.5 m
• 螺紋類型
  4-40 and 8-32 or M3 and M4 (M- version)
• 重量
  2.4 kg
• MTBF
  20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
• RoHS
  Compliant

VP-5ZA 精密垂直線性位移臺特征

構建薄型 XYZ 平移臺疊堆

超薄精密 XYZ 系統由兩個VP-25XA 線性平移臺和一個 VP-5ZA 垂直平移臺組成。與傳統平移臺疊堆相比，該解決方案提供了一種超薄替代方案，可從任何方向輕松接近負載。

保持軸承上的有效載荷

VP-5ZA 的提升方法可實現有效載荷在軸承上定心，并靠近位置反饋。這樣可以避免可引起角變形的任何懸臂負載，并產生具有更高載重能力的更精確的運動。

VP-5ZA平移臺安裝在ILS高性能中程行程線性平臺的頂部，可選的VP-BP底板。

高效的傾斜平面設計

使用兩個楔形的布置可產生純垂直運動，兩個楔形通過傾斜的循環滾珠軸承和兩對垂直安裝的雙列線性滾珠軸承滑塊移動通過彼此。

廣泛的平移臺兼容性

頂板上的螺紋孔圖案提供了與VP-25X 線性平移臺和其他 Newport 定位產品的兼容性。還提供用于晶片卡盤的標準 3 點安裝接口。要將 VP-5ZA 安裝到光學平臺或ILS 線性平移臺，請使用可選的VP-BP底座。可以使用平頭螺絲刀方便地進行手動垂直調整。

高轉矩直流電機

一種高效、高轉矩直流電機，具有精密預裝長使用壽命的滾珠絲杠，可確保高速運動并縮短穩定時間。高分辨率線性刻度直接連接到移動軌道，消除了所有傳動系統引起的運動誤差。此外，節省空間的固定讀取頭設計避免了任何電纜移動。結果是一個堅固耐用的平移臺，MTBF 為 20000 小時。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for the VP-5ZA stage are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.

●SMC100CC Single Axis DC Motor Controller.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.